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  Process Variability in Top-Down Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensor Arrays 基于硅纳米线的生物传感器阵列自上而下制造的工艺可变性
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期刊：Sensors 作者：Marcel Tintelott; Vivek Pachauri; Sven Ingebrandt; Xuan Thang Vu 出版日期：2021-07-29 |
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