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标题
Surface topography measurement of microstructures near the lateral resolution limit via coherence scanning interferometry
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S014381662...
DOI
10.1016/j.optlaseng.2022.106949 doi
其它 期刊：Optics and Lasers in Engineering
作者：Yifeng Sun; Zhishan Gao; Jianqiu Ma; Juntao Zhou; Pengfei Xie; et al
出版日期：2022-01-13
求助人
Xingchen 在 2026-02-04 15:49:27 发布自河南，悬赏 10 积分
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