On the design of a KNN piezoelectric MEMS resonant scanner for wide-angle and high-frequency scanning

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标题	On the design of a KNN piezoelectric MEMS resonant scanner for wide-angle and high-frequency scanning 用于广角高频扫描的KNN压电MEMS谐振扫描仪的设计相关领域微电子机械系统扫描仪压电声学材料科学工程类电气工程物理光电子学
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2025.116586
DOI	10.1016/j.sna.2025.116586 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Hung‐Yu Lin; Hao-Chien Cheng; Mingching Wu; Mei Feng Lai; Weileun Fang 出版日期：2025-04-19
求助人	故事的小红花在 2025-06-23 10:39:09 发布自陕西，悬赏 10 积分
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