Micro-nanostructured plasmonic TiN layer produced using rapid thermal nitridation of a nanoimprinted TiO2 sol-gel

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标题	Micro-nanostructured plasmonic TiN layer produced using rapid thermal nitridation of a nanoimprinted TiO2 sol-gel 纳米印迹TiO2溶胶-凝胶快速热氮化制备微纳米结构等离子体锡层相关领域材料科学锡氮化钛等离子体子纳米结构图层（电子）涂层纳米技术纳米压印光刻钛光电子学氮化物冶金制作替代医学病理医学
网址	https://doi.org/10.1364/ome.468682
DOI	10.1364/ome.468682 doi
其它	期刊：Optical Materials Express 作者：Nicolas Crespo‐Monteiro; Arnaud Valour; Émilie Gamet; Maria Alejandra Usuga Higuita; Valentin Gâté; et al 出版日期：2022-07-29
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