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The effect of oxygen in diamond deposition by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition
氧对微波等离子体增强化学气相沉积金刚石的影响
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网址
DOI
10.1557/jmr.1990.2305 doi
其它 期刊:Journal of materials research/Pratt's guide to venture capital sources
作者:Y. Liou; A. Inspektor; R. Weimer; Diane S. Knight; R. Messier
出版日期:1990-11-01
求助人
1124816 在 2025-07-03 19:43:38 发布自山东,悬赏 10 积分
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