Experimental Study on the Influence of Ultraviolet Laser Parameters on the Micro Machining Quality of Silicon Carbide Ceramic

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标题	Experimental Study on the Influence of Ultraviolet Laser Parameters on the Micro Machining Quality of Silicon Carbide Ceramic 紫外激光参数对碳化硅陶瓷微加工质量影响的实验研究相关领域材料科学机械加工碳化硅陶瓷表面粗糙度复合材料激光器表面光洁度脆性紫外线脉冲重复频率沟槽（工程）光学扫描电子显微镜微电子硅光电子学冶金电信雷达物理计算机科学
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/acff80
DOI	10.1149/2162-8777/acff80 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Tianchen Zhao; J. Ruan; Hongyu Chen; Qian Fa Deng; Kaiping Feng 出版日期：2023-10-01
求助人	至若春和景明在 2024-01-20 10:42:59 发布自山东，悬赏 10 积分
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