Design and testing of a two-axis surface encoder with a single Littrow configuration of a first-order diffraction beam

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标题	Design and testing of a two-axis surface encoder with a single Littrow configuration of a first-order diffraction beam
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2024.10.019
DOI	10.1016/j.precisioneng.2024.10.019 doi
其它	期刊：Precision engineering 作者：Yifan Hong; R. Sato; H. Matsukuma; Wei Gao 出版日期：2024-10-01
求助人	hho 在 2026-10-13 10:34:02 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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