Flexible tuned, multi-focus laser stealth dicing of JGS3 quartz glass: From algorithm to practice

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标题	Flexible tuned, multi-focus laser stealth dicing of JGS3 quartz glass: From algorithm to practice JGS3石英玻璃柔性调谐多焦点激光隐身切割：从算法到实践相关领域晶片切割材料科学光学激光器光学（聚焦）石英同轴焦点深度（构造）梁（结构）激光束空间光调制器计算机科学光电子学薄脆饼物理地质学复合材料电信古生物学俯冲构造学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.optlastec.2023.110164
DOI	10.1016/j.optlastec.2023.110164 doi
求助人	chwei3 在 2024-05-10 22:55:54 发布自上海，悬赏 10 积分
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