Introducing gallium in silicon and thin film polysilicon using self assembled monolayer doping

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标题	Introducing gallium in silicon and thin film polysilicon using self assembled monolayer doping 自组装单层掺杂在硅和薄膜多晶硅中引入镓相关领域材料科学单层兴奋剂镓硅氧化镓薄膜多晶硅耗尽效应光电子学纳米技术工程物理冶金晶体管电气工程工程类电压栅氧化层
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2022.132839
DOI	10.1016/j.matlet.2022.132839 doi
其它	期刊：Materials letters 作者：Carolyn Spaulding; Alex Taylor; Scott Williams; Glenn Packard; Gabriel Curvacho; et al 出版日期：2022-10-01
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