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 Effect of Crystal Orientation on Material Removal Characteristics in Sapphire Chemical Mechanical Polishing 晶体取向对蓝宝石化学机械抛光材料去除特性的影响
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期刊：Yunhwal haghoeji 作者：Sangjin Lee; Sangjik Lee; Hyoungjae Kim; Chuljin Park; Keun Yong Sohn 出版日期：2017-06-30 |
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