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A High-Precision Wafer Defect Inspection System Integrating DMD-Based Parallel Confocal Imaging, Bright-Field Inspection, and MutexMatch Semi-Supervised Learning1
网址
https://doi.org/10.1109/rcar65431.2025.11139734
DOI
10.1109/rcar65431.2025.11139734 doi
其它 期刊：2025 IEEE International Conference on Real-time Computing and Robotics (RCAR)
作者：Congrui Xu; Zijin Lv; Jiaxuan Liang; Yunlong Zhu; Chenyao Bai
出版日期：2025
求助人
Alan 在 2026-07-01 16:14:55 发布自江苏，悬赏 10 积分
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  • 1个月前，求助关闭

    Alan Alan Lv3 求助人 关闭了本次求助。

    说明 不需要改论文了【积分已退回】

  • 1个月前

    Alan Alan Lv3 求助人 发起了本次求助

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