The impact of silicon surface pretreatment on interface structure and passivation quality of AlOx films deposited by atomic layer deposition - 科研通

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标题	The impact of silicon surface pretreatment on interface structure and passivation quality of AlOx films deposited by atomic layer deposition
网址	https://doi.org/10.1016/j.solmat.2025.113658
DOI	10.1016/j.solmat.2025.113658 doi
其它	期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Jiahui Xu; Wenjing Zhang; Yu-Xuan Li; Cui Liu; Geng Zhang; et al 出版日期：2025-04-21
求助人	时光纠缠在 2026-07-22 17:03:00 发布自江苏，悬赏 10 积分
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