Particle size dependence of nanoclustered ceria abrasives on surface activity and chemical mechanical planarization performance

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标题	Particle size dependence of nanoclustered ceria abrasives on surface activity and chemical mechanical planarization performance
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160123
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.160123 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Na-Yeon Kim; Uiseok Hwang; Jaeuk Sung; In-Kyung Park; Taesung Kim; et al 出版日期：2024-08-01
求助人	我爱刘惜君在 2026-08-17 22:55:03 发布自安徽，悬赏 10 积分
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