Zirconium Oxynitride Film Enabling High Sensitivity and Stability Temperature Sensing Near Normal Temperature

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标题	Zirconium Oxynitride Film Enabling High Sensitivity and Stability Temperature Sensing Near Normal Temperature
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9698823/9699435/09699664...
DOI	10.1109/mems51670.2022.9699664 doi
其它	期刊：2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS) 作者：Yanjie Li; Minmin You; Xiuyan Li; Bin Yang; Zude Lin; Jingquan Liu 出版日期：2022-02-12
求助人	来自天边云彩在 2026-06-18 13:43:44 发布自上海，悬赏 10 积分
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