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Industrialization of a robust EUV source for high-volume manufacturing and power scaling beyond 250W |
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10.1117/12.2305955
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期刊: 作者:Igor V. Fomenkov; A. A. Schafgans; Yezheng Tao; Robert J. Rafac; Michael Purvis; et al 出版日期:2018-05-10 |
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