High-k/metal gate stacks in gate first and replacement gate schemes

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标题	High-k/metal gate stacks in gate first and replacement gate schemes 栅极优先和替代栅极方案中的高k/金属栅极叠层相关领域 PMOS逻辑 NMOS逻辑锡材料科学金属浇口光电子学铝逻辑门基质（水族馆）电气工程电子工程栅氧化层晶体管电压冶金工程类地质学海洋学
网址	https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/5551460
DOI	10.1109/ASMC.2010.5551460 doi
求助人	婷婷在 2024-02-23 10:14:47 发布自四川，悬赏 10 积分
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