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标题
Epitaxial growth of metastable c-plane rhombohedral indium tin oxide using mist chemical vapor deposition
气雾化学气相沉积外延生长亚稳c面菱形氧化铟锡
相关领域
材料科学 氧化铟锡 薄膜 外延 化学气相沉积 氧化物 电阻率和电导率 分析化学(期刊) 化学工程 光电子学 纳米技术 冶金 图层(电子) 化学 电气工程 工程类 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2022.106689 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Kazuki Shimazoe; Hiroyuki Nishinaka; Keisuke Watanabe; Masahiro Yoshimoto
出版日期:2022-04-22
求助人
英俊的铭 在 2025-08-26 07:19:17 发布,悬赏 10 积分
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