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  Plasma etching for fabrication of complex nanophotonic lasers from bonded InP semiconductor layers 从键合InP半导体层制备复杂纳米光子激光器的等离子体刻蚀
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期刊：Micro and Nano Engineering 作者：Jakub Dranczewski; Anna Fischer; Preksha Tiwari; Markus Scherrer; Dhruv Saxena; et al 出版日期：2023-05-16 |
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