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 Systematic oxygen impurity reduction in smooth N-polar GaN by chemical potential control 化学电位控制系统还原光滑N极GaN中的氧杂质
相关领域
过饱和度
氧气
金属有机气相外延
化学气相沉积
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化学
分析化学（期刊）
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Dennis Szymanski; Ke Wang; Felix Kaess; Ronny Kirste; Seiji Mita; et al 出版日期：2021-11-03 |
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