发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Optical, structural and composition properties of silicon nitride films deposited by reactive radio-frequency sputtering, low pressure and plasma-enhanced chemical vapor deposition
反应射频溅射、低压和等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的光学、结构和成分特性
相关领域
等离子体增强化学气相沉积 化学气相沉积 材料科学 氮化硅 薄膜 X射线光电子能谱 溅射 溅射沉积 氮化硅 傅里叶变换红外光谱 光电子学 分析化学（期刊） 硅 光学 化学 纳米技术 化学工程 物理 工程类 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139568
DOI
10.1016/j.tsf.2022.139568 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Leonid Yu. Beliaev; Evgeniy Shkondin; Andrei V. Lavrinenko; Osamu Takayama
出版日期：2022-11-05
求助人
Araa 在 2025-07-22 15:50:02 发布自江西，悬赏 10 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Effect of PECVD silicon oxynitride film composition on the surface passivation of silicon wafers
  2. A study of deposition conditions on charging properties of PECVD silicon nitride films for MEMS capa...
  3. Silicon Oxynitride ECR-PECVD Films for Integrated Optics
  4. The Fabrication of Bio-Inspired Chemical Vapor Sensors via Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
  5. Silicon Oxynitride Layers Fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) for CMOS D...
  6. Integrated optical devices with silicon oxynitride prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposi...
  7. Blue Light Emission and Ultraviolet Light Emission From Silicon Oxynitride film Prepared by PECVD
  8. Low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition of silicon nitride and oxynitride layers
  9. Determination of local stress in PECVD nitride films
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
在科研通，轻松享有文献下载的自由
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
不舍天真发布了新的文献求助10
1秒前
Zert发布了新的文献求助10
2秒前
呆萌惜天完成签到 ，获得积分10
3秒前
5秒前
7秒前
7秒前
呆萌惜天关注了科研通微信公众号
7秒前
8秒前
9秒前
还我养乐多的应助被李李采纳，获得30
12秒前
Fay发布了新的文献求助10
12秒前
Jackcaosky完成签到 ，获得积分10
12秒前
w769f发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
13秒前
雪茶完成签到，获得积分10
13秒前
Ximao1008发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
14秒前
在水一方的应助被旋881采纳，获得10
15秒前
深情安青的应助被静静爱科研采纳，获得10
15秒前
tkyees发布了新的文献求助10
15秒前
薄荷完成签到，获得积分10
15秒前
16秒前
wish完成签到，获得积分10
17秒前
哈哈哈发布了新的文献求助10
19秒前
HHHH发布了新的文献求助10
20秒前
称心的新之完成签到，获得积分10
21秒前
hantuo发布了新的文献求助10
21秒前
恶恶么v发布了新的文献求助10
22秒前
wish发布了新的文献求助10
22秒前
李天萌的应助被HHHH采纳，获得10
23秒前
jkq给jkq的求助进行了留言
25秒前
幻想小蜜蜂完成签到，获得积分10
25秒前
CodeCraft的应助被WSGQT采纳，获得10
26秒前
幸福的秋烟完成签到，获得积分10
27秒前
NexusExplorer的应助被猪猪hero采纳，获得10
28秒前
田様的应助被tkyees采纳，获得10
28秒前
HHHH完成签到，获得积分10
29秒前
30秒前
高分求助中
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Maritime Applications of Prolonged Casualty Care: Drowning and Hypothermia on an Amphibious Warship 500
Comparison analysis of Apple face ID in iPad Pro 13” with first use of metasurfaces for diffraction vs. iPhone 16 Pro 500
Towards a $2B optical metasurfaces opportunity by 2029: a cornerstone for augmented reality, an incremental innovation for imaging （YINTR24441） 500
Materials for Green Hydrogen Production 2026-2036: Technologies, Players, Forecasts 500
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 490
北师大毕业论文 基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 460
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4059652
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3597966
关于积分的说明 11429644
捐赠科研通 3322725
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1826895
邀请新用户注册赠送积分活动 897557
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 818517
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通