Study on the fundamental factors of the property evolution of a 300 mm polycrystalline trap-rich layer

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标题	Study on the fundamental factors of the property evolution of a 300 mm polycrystalline trap-rich layer 300mm多晶富陷阱层性能演变的基本因素研究相关领域材料科学薄脆饼多晶硅微晶电阻率和电导率绝缘体上的硅化学气相沉积晶界复合材料硅粒度衍射图层（电子）纳米技术光电子学光学冶金微观结构电气工程工程类物理薄膜晶体管
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/acde04
DOI	10.1088/1361-6641/acde04 doi
其它	期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Rongwang Dai; Yun Liu; Ziwen Wang; Minghao Li; Tao Wei; et al 出版日期：2023-06-13
求助人	gyyy 在 2025-09-09 09:55:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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