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标题
ALD-Al2O3 passivation effects on surface characteristics of InAs/GaSb type-II superlattice infrared photodetectors
ALD-Al2O3钝化对InAs/GaSb II型超晶格红外光探测器表面特性的影响
相关领域
原子层沉积 X射线光电子能谱 材料科学 光电子学 光电探测器 钝化 分析化学(期刊) 化学气相沉积 超晶格 暗电流 图层(电子) 纳米技术 化学 化学工程 色谱法 工程类
网址
DOI
10.1117/12.2518574 doi
其它 期刊:
作者:Ryo Suzuki; Ozaki Kazuo; Koji Tsunoda; Hironori Nishino
出版日期:2019-05-07
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