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标题
Orientation control of high-χ triblock copolymer for sub-10 nm patterning using fluorine-containing polymeric additives
相关领域
共聚物 材料科学 退火（玻璃） 氟 纳米技术 聚苯乙烯 垂直的 化学工程 聚合物 复合材料 数学 几何学 工程类 冶金
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.18.3.035501
AI链接 spiedigitallibrary.org osti.govdoi.org
DOI
10.1117/1.jmm.18.3.035501 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS
作者：Jiajing Li; Chun Zhou; Xuanxuan Chen; Paulina A. Rincon Delgadillo; Paul F. Nealey
出版日期：2019-07-25
求助人
平等创死每一个人 在 2025-11-28 11:11:55 发布自黑龙江，悬赏 20 积分
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