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 Cyclone-type vaporizer for mass delivery of atomic layer deposition precursors: Simulation and experimental studies 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Seung-Ho Seo; Donggeon Shin; Cha-Hee Kim; K. Jeong; Y. P. Lee; et al 出版日期：2024-12-12 |
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