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标题
Toward efficient fabrication of microstructures on SiC with nanometric surface quality
在SiC上高效制备纳米表面质量的微结构
相关领域
制作 微观结构 材料科学 纳米技术 质量（理念） 曲面（拓扑） 冶金 物理 量子力学 病理 医学 替代医学 数学 几何学
网址
https://doi.org/10.1016/j.cirp.2024.04.058
DOI
10.1016/j.cirp.2024.04.058 doi
其它 期刊：CIRP Annals
作者：Jinshi Wang; Fengzhou Fang
出版日期：2024-01-01
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Reni 在 2025-12-05 16:30:10 发布自青海，悬赏 10 积分
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