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Homogeneous high In content InxGa1−x N films by supercycle atomic layer deposition
超循环原子层沉积均匀高In含量InxGa1-xN薄膜
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0002079
AI链接 scitation.org kb.sedoi.org
DOI
10.1116/6.0002079 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Chih‐Wei Hsu; Ivan Martinovic; Roger Magnusson; Babak Bakhit; Justinas Pališaitis; et al
出版日期：2022-11-07
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SciGPT 在 2025-12-04 15:38:01 发布自广西，悬赏 10 积分
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