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标题
[高分] Low Temperature Bonding of Cu on Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> Using Laser Ablation Process
Si3N4上铜的激光烧蚀低温键合
相关领域
材料科学 准分子激光器 辐照 图层（电子） 激光烧蚀 X射线光电子能谱 分析化学（期刊） 激光器 薄膜 烧蚀 复合材料 化学 光学 纳米技术 核磁共振 核物理学 航空航天工程 工程类 物理 色谱法
网址
https://doi.org/10.2320/jinstmet1952.59.1_89
AI链接 go.jpdoi.org
DOI
10.2320/jinstmet1952.59.1_89 doi
其它 期刊：Journal of the Japan Institute of Metals and Materials
作者：Tetsuo Yano; Toshihiko Ooie; Masafumi Yoneda; Munehide Katsumura
出版日期：1995-01-01
求助人
LL 在 2025-11-23 07:34:49 发布自宁夏，悬赏 150 积分
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