Plasma-etching on monolithic MOFs-based MIM filter boosted chemical sensing

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标题	Plasma-etching on monolithic MOFs-based MIM filter boosted chemical sensing 单片MOFs基MIM滤波器的等离子体刻蚀增强化学传感相关领域材料科学光电子学各向同性腐蚀等离子体刻蚀蚀刻（微加工）金属绝缘体金属绝缘体（电）亮度纳米技术等离子体反应离子刻蚀图层（电子）光学电容器物理量子力学电压
网址	https://doi.org/10.1007/s12274-023-6098-8
DOI	10.1007/s12274-023-6098-8 doi
其它	期刊：Nano research (Online) 作者：Jianxi Liu; Li Feng; Zhihuan Li; Wu Yang; Feng Zhou; et al 出版日期：2023-09-26
求助人	小面包在 2024-04-07 10:32:53 发布自陕西，悬赏 10 积分
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