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Plasma-etching on monolithic MOFs-based MIM filter boosted chemical sensing

材料科学 光电子学 各向同性腐蚀 等离子体刻蚀 蚀刻（微加工） 金属绝缘体金属 绝缘体（电） 亮度 纳米技术 等离子体 反应离子刻蚀 图层（电子） 光学 电容器 电压 物理 量子力学
作者
Jianxi Liu,Li Feng,Zhihuan Li,Wu Yang,Feng Zhou,Yadong Xu
出处
期刊：Nano Research [Springer Science+Business Media]
日期：2023-09-26 卷期号：17 (4): 2800-2807 被引量：3
标识
DOI：10.1007/s12274-023-6098-8
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