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 Effect of ALD temperature on the polarization switching dynamics of BEOL-compatible Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric film ALD温度对BEOL相容Hf0.5Zr 0.5 O2铁电薄膜极化开关动力学的影响
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Xiaopeng Li; Lu Tai; Xiaoyu Dou; Pengpeng Sang; Xuepeng Zhan; et al 出版日期：2025-04-01 |
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