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 Micro-motion detection of the 3-DOF precision positioning stage based on iterative optimized template matching 基于迭代优化模板匹配的三自由度精密定位平台微动检测
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基因
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期刊：Applied Optics 作者：Hai Li; Xianmin Zhang; Benliang Zhu; Yongmei Lu; Heng Wu 出版日期：2017-11-27 |
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