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 Role of trace moisture in low temperature thermal ALD of titanium dioxide using tetrakis(dimethylamido) titanium (IV) and molecular oxygen 微量水分在使用四（二甲基氨基）钛(IV)和分子氧的二氧化钛低温热ALD中的作用
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Harshdeep S. Bhatia; Gregory Jursich; Christos G. Takoudis 出版日期：2025 |
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