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 Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings—Process diagnostics and mechanisms 混合涂层的离子束辅助化学气相沉积。过程诊断和机理
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Artem Shelemin; O. Zabeida; J.E. Klemberg-Sapieha; L. Martinů 出版日期：2021-10-18 |
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