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标题
Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings—Process diagnostics and mechanisms
混合涂层的离子束辅助化学气相沉积。过程诊断和机理
相关领域
六甲基二硅氧烷 材料科学 化学气相沉积 离子束沉积 离子束 分析化学（期刊） 质谱法 离子镀 沉积（地质） 聚焦离子束 单体 化学工程 离子 光电子学 薄膜 纳米技术 化学 聚合物 有机化学 等离子体 色谱法 复合材料 工程类 物理 古生物学 生物 量子力学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001291
DOI
10.1116/6.0001291 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Artem Shelemin; O. Zabeida; J.E. Klemberg-Sapieha; L. Martinů
出版日期：2021-10-18
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zzcherished 在 2025-05-17 11:59:56 发布自中国，悬赏 10 积分
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