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Ion beam assisted chemical vapor deposition of hybrid coatings—Process diagnostics and mechanisms
混合涂层的离子束辅助化学气相沉积。过程诊断和机理
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0001291
DOI
10.1116/6.0001291 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Artem Shelemin; O. Zabeida; J.E. Klemberg-Sapieha; L. Martinů
出版日期：2021-10-18
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zzcherished 在 2025-05-17 11:59:56 发布自中国，悬赏 10 积分
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