Chemical reactions and crystallization behavior in thermal ALD of BaTiO3 thin films from bis-(1,2,4 triisopropylcyclopentadienyl)-barium and titanium isopropoxide precursors

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标题	Chemical reactions and crystallization behavior in thermal ALD of BaTiO3 thin films from bis-(1,2,4 triisopropylcyclopentadienyl)-barium and titanium isopropoxide precursors
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004385
DOI	10.1116/6.0004385 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：J.M. Chen; Zekai Wang; Typher Yom; Chengyang Zhang; Mark D. Losego; et al 出版日期：2025-06-04
求助人	2d3y 在 2026-08-12 16:14:33 发布自中国，悬赏 10 积分
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