Water and oxygen permeation of silicon nitride films prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition - 科研通

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标题	Water and oxygen permeation of silicon nitride films prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2004.10.034 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：D.S. Wuu; W.C. Lo; C.C. Chiang; H.B. Lin; L.S. Chang; et al 出版日期：2004-12-16
求助人	空城旧梦在 2026-08-25 21:25:26 发布自安徽，悬赏 10 积分
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