Angle control on ribbon beams on applied materials VIISta® Trident™ ion implanters

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标题	Angle control on ribbon beams on applied materials VIISta® Trident™ ion implanters
网址	https://doi.org/10.1557/s43580-024-01072-z
DOI	10.1557/s43580-024-01072-z doi
其它	期刊：MRS Advances 作者：A. Cucchetti; Sruthi Chennadi; K. H. Shim; Sung‐Hyun Jo; Yong‐Su Kim; et al 出版日期：2025-02-24
求助人	晴天在 2026-08-26 14:44:13 发布自上海，悬赏 10 积分
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