Direct simulation Monte Carlo study of effects of thermal nonuniformities in electron-beam physical vapor deposition - 科研通

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标题	Direct simulation Monte Carlo study of effects of thermal nonuniformities in electron-beam physical vapor deposition
网址	https://doi.org/10.1116/1.3592890
DOI	10.1116/1.3592890 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：A. Venkattraman; Alina A. Alexeenko 出版日期：2011
求助人	zxszxs 在 2026-04-15 16:12:19 发布自上海，悬赏 10 积分
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