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  Scalable integration of hybrid high-κ dielectric materials on two-dimensional semiconductors 杂化高κ介电材料在二维半导体上的可扩展集成
相关领域
材料科学
半导体
光电子学
电介质
场效应晶体管
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期刊：Nature Materials 作者：Yongshan Xu; Teng Liu; Kailang Liu; Yinghe Zhao; Lei Liu; et al 出版日期：2023-08-03 |
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