Dopant species with Al–Si and N–Si bonding in the MOCVD of AlN implementing trimethylaluminum, ammonia and silane

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标题	Dopant species with Al–Si and N–Si bonding in the MOCVD of AlN implementing trimethylaluminum, ammonia and silane
网址	http://stacks.iop.org/0022-3727/48/i=29/a=295104/pdf
DOI	10.1088/0022-3727/48/29/295104 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：R. B. Santos; R. Rivelino; F. B. Mota; G. Gueorguiev; A. Kakanakova-Georgieva 出版日期：2015-06-29
求助人	uss 在 2026-10-08 00:16:36 发布自沙特阿拉伯，悬赏 10 积分
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