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High Aspect-Ratio Laser Heat-Mode Patterning of Low-Loss Phase Change Material Sb2S3 for Micro/Nanolithography 相关领域
材料科学
激光器
光电子学
透射率
硫系化合物
蚀刻(微加工)
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薄膜
光学
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相变材料
纵横比(航空)
抵抗
光刻
感应耦合等离子体
相变
光谱学
光热治疗
千分尺
衰减系数
半导体激光器理论
折射率
线条宽度
传输(电信)
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(2025-6-4)