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标题
TSV-less 3D stacking of MEMS and CMOS via low temperature Al-Au direct bonding with simultaneous formation of hermetic seal
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/6884273/6897249/06897306...
DOI
10.1109/ectc.2014.6897306 doi
其它 期刊：2014 IEEE 64th Electronic Components and Technology Conference (ECTC)
作者：S. L. Chua; A. Razzaq; K. H. Wee; K. H. Li; H. Yu; et al
出版日期：2014-09-26
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