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Monolithic CMOS-MEMS Tactile Force/Proximity Sensors with Full Wheatstone Bridge and Shielding Electrode 相关领域
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期刊: 作者:Pei-Yun Li; Robert Mai; Yiming Lai; Mei‐Feng Lai; Weileun Fang 出版日期:2025-06-29 |
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