Monolithic CMOS-MEMS Tactile Force/Proximity Sensors with Full Wheatstone Bridge and Shielding Electrode - 科研通

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标题	Monolithic CMOS-MEMS Tactile Force/Proximity Sensors with Full Wheatstone Bridge and Shielding Electrode 相关领域惠斯通大桥电磁屏蔽微电子机械系统电极触觉传感器电气工程 CMOS芯片材料科学光电子学触觉技术声学工程类计算机科学物理电阻器电压模拟量子力学机器人人工智能
网址	https://doi.org/10.1109/transducers61432.2025.11110039
DOI	10.1109/transducers61432.2025.11110039 doi
其它	期刊：作者：Pei-Yun Li; Robert Mai; Yiming Lai; Mei‐Feng Lai; Weileun Fang 出版日期：2025-06-29
求助人	哈哈在 2025-10-17 19:03:38 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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