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  Growth Kinetics of Copper Films from Photoassisted CVD of Copperacetylacetonate 乙酰丙酮铜光辅助CVD生长铜膜的动力学
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期刊：Journal de Physique IV (Proceedings) 作者：D. Tonneau; R. Pierrisnard; H. Dallaporta; W. Marine 出版日期：1995-06-01 |
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