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![]() 用于实现光刻可缩放薄膜晶体管的垂直延伸沟道架构
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Sein Lee; Taehoon Sung; Se-Yeon Jung; Young‐Woong Song; Min‐Kyu Song; et al 出版日期:2023-08-01 |
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