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 Effect of Hydrophobicity and Surface Potential of Silicon on SiO<sub>2</sub> Etching in Nanometer-Sized Narrow Spaces 硅的疏水性和表面电位对纳米级窄空间SiO2刻蚀的影响
相关领域
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期刊：Solid State Phenomena 作者：Dai Ueda; Yosuke Hanawa; Hiroaki Kitagawa; Naozumi Fujiwara; Masayuki Otsuji; et al 出版日期：2021-02-01 |
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