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标题
Performance of amorphization AlCrTiZrMo high entropy alloy barrier for copper metallization
铜金属化用非晶化AlCrTiZrMo高熵合金势垒的性能
相关领域
材料科学 扩散阻挡层 退火（玻璃） 合金 硅化物 无定形固体 铜 冶金 复合材料 硅 结晶学 化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2023.12.145
AI链接 doi.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.jmrt.2023.12.145 doi
其它 期刊：Journal of Materials Research and Technology
作者：Shunian Chen; Yifan Zhang; Lin Chen; Xiaoping Ouyang; Bin Liao
出版日期：2023-12-20
求助人
漂亮的山菡 在 2025-06-08 18:24:58 发布，悬赏 10 积分
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