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标题
Surface error effect on reflectivity and focused spot of an EUV tubular mirror machined by ultra-precision diamond turning
超精密金刚石车削极紫外管镜表面误差对反射率和聚焦点的影响
相关领域
极紫外光刻 光学 材料科学 钻石 反射率 极端紫外线 金刚石车削 光电子学 物理 激光器 复合材料
网址
https://doi.org/10.1364/ao.529298
DOI
10.1364/ao.529298 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Shan Wu; Jinshi Wang; Huaiyu Cui; Yongpeng Zhao; Fengzhou Fang
出版日期：2024-08-06
求助人
Heidi 在 2025-05-06 16:15:50 发布自美国，悬赏 10 积分
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