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Effect of Annealing Ferroelectric HfO 2 Thin Films: In Situ, High Temperature X‐Ray Diffraction 退火对铁电HfO 2薄膜的影响:原位高温X射线衍射
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期刊:Advanced electronic materials 作者:Min Hyuk Park; Ching-Chang Chung; Tony Schenk; Claudia Richter; Karl Opsomer; et al 出版日期:2018-07-01 |
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