Non-methane hydrocarbons from integrated semiconductor manufacturing processes: Assessments of chemical footprints, emissions factors, and treatment efficiency

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标题	Non-methane hydrocarbons from integrated semiconductor manufacturing processes: Assessments of chemical footprints, emissions factors, and treatment efficiency
网址	https://doi.org/10.1016/j.jclepro.2023.140408
DOI	10.1016/j.jclepro.2023.140408 doi
其它	期刊：Journal of Cleaner Production 作者：Sultan F.I. Abdillah; Tzu-Chun Kao; Sheng‐Jie You; Ya‐Fen Wang 出版日期：2023-12-29
求助人	packet 在 2026-11-01 21:32:07 发布自广东，悬赏 10 积分
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