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标题
Void-free filling of spin-on dielectric in 22nm wide ultrahigh aspect ratio Si trenches
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.3244626
DOI
10.1116/1.3244626 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：Krutarth Trivedi; Carlo Floresca; Sangjeoung Kim; Hyunjin Kim; Deogbae Kim; et al
出版日期：2009-11-01
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辛尘 在 2026-10-21 17:03:44 发布自江西，悬赏 10 积分
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